7月3日至5日,国际显示技术及应用创新大会在上海举行,即将在淄博投产的新产品——半导体晶圆输送机器人亮相展会。
据了解,晶圆输送机器人承担着晶圆精确定位与平稳搬运的任务,是半导体制造装备中使用最多的机器人设备。晶圆输送机器人的定位传输精度,直接决定着晶圆传输设备整机系统的传输精度。由于零部件构造复杂、精度要求严苛等问题,这一技术一直是半导体制造装备领域的一大难点,长期被国外垄断。
为攻克这一技术难关,山东现代庆炀智能装备有限公司(以下简称现代庆炀)研发团队历经多年研发,成功研制出半导体晶圆输送机器人和晶圆自动上下料机器人。这一系列产品能够实现晶圆高效、稳定运输,为晶圆自动化搬运保驾护航,助力我国半导体制造装备行业发展。
展会上,现代庆炀还与成都环龙智能机器人有限公司等4家企业进行了现场签约,双方将在半导体晶圆输送机器人及其他领域开展深度合作。记者了解到,另外还有十余家未到场企业有合作意向。
“淄博作为老工业基地,工业门类齐全,产业基础雄厚,特别是近年来对机器人产业扶持力度大。工博士将以此次签约为契机,期待未来能继续与这座城市携手共进。”签约嘉宾工博士机器人智能装备事业部总经理姚雪在现场说。
今后,这一产品将落地临淄智能机器人产业基地,进一步延伸淄博机器人产业链,推动淄博机器人产业生态更加丰富。